核心觀點：

 

    　　6 月設備概念股招標擴產持續推進，積塔、中芯、燕東招標量居前。2022 年6 月招標以積塔、中芯、燕東、華虹、晉華等產線為主，合計產生40項招標，積塔、中芯、燕東的招標量位居前三。招標項目方面，整體以熱處理、量測、清洗三類設備龍頭股的招標量居多，其中，熱處理和量測設備均為積塔特色工藝生產線招標，清洗設備為燕東8 寸晶圓項目招標。

 

    　　此外，基建項目的招標量也較為可觀，主要為中芯國際臨港12 寸晶圓產線招標。2022 年1-6 月，中芯、華虹、華力、積塔、燕東、晉華等六條晶圓產線合計招標644 項，其中，積塔、華虹、燕東的招標量位居前三。整體而言，招標以沉積類設備、量測設備龍頭股和刻蝕設備為主。

 

    　　國產廠商卡位沉積/刻蝕/爐管等領域，6 月國產設備中標比例56%。中標方面，2022 年6 月，中芯、華虹、華力、積塔、燕東、晉華等六條晶圓產線上合計中標70 臺設備，以去膠、量測、刻蝕、離子注入設備居多；國產設備整體中標比例約56%，其中，PVD、刻蝕、濕法腐蝕、爐管設備的國產中標比例顯著。2022 年1-6 月，統計樣本中的晶圓產線合計中標734 臺設備，以沉積類、量測、刻蝕設備居多；國產設備整體中標比例約26%，其中，硅片再生、PVD、去膠、濕法腐蝕設備的國產中標比例較高。

 

    　　6 月中微公司中標量領先，國產設備在所處工藝領域的中標表現突出。

 

    　　2022 年6 月，中微公司、盛美上海等國內半導體設備廠商合計中標12 臺設備，在對應工藝環節的中標比例為33%。其中，中微中標9 臺刻蝕設備，中標量位居6 月首位，并且在沉積設備領域的中標比例為100%；盛美上海、上海精測、屹唐在爐管、量測、去膠設備領域各中標1 臺設備，在相應領域中的中標比例分別為100%、11%、6%。

 

    　　2022 年1-6 月，國內半導體設備廠商合計中標154 臺設備，北方華創、中微公司、拓荊科技中標量位居前三位，分別中標59 臺、22 臺、14 臺設備。其中，北方華創中標以刻蝕、氧化、PVD 設備居多；中微公司和拓荊科技中標則分別以刻蝕和沉積類設備龍頭股為主。2022 年1-6 月，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為27%。

 

    　　其中，盛美上海的硅片再生設備、北方華創的PVD 設備和氧化設備龍頭股在對應工藝環節的中標比例領先，分別為100%、60%、54%。

 

    　　投資建議：建議關注在半導體核心工藝環節強勢卡位和今年有新品類拓展的公司：北方華創、華海清科、拓荊科技、長川科技*、中微公司*、盛美上海*、芯源微、萬業企業、至純科技*、華峰測控*等標的。（帶*標的為與廣發機械聯合覆蓋）

 

    　　風險提示：市場需求不及預期，研發不及預期，市場開拓不及預期。

 

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